北崎供应ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPRR4HT 在线气体过滤器

北崎供应ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPRR4HT 在线气体过滤器

Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器应用CVD 设备的使用要点
高温 TEOS、High-k 等
高温氮2
产品规格 材料 膜 聚四氟乙烯 

 支持 PFA 系列 
  住房 316L 不锈钢 
颗粒去除尺寸 ≥ 0.0015 微米 
粒子捕获速率 ≥ 99.9999999 % @ 25°C 
初始清洁度 大于 0.01 μm 且小于或等于 0.03 pcs/L 的颗粒 
内表面粗糙度 Ra < 0.17 μm 
连接 1/2 英寸（12.7 毫米）密封外螺纹（兼容 VCR）® 
使用条款
 *工作压力 0.99 MPa @ 0 ~ 200 °C 
  *允许正压差 0.70 MPa @ 0 ~ 40 °C 
    0.08 MPa @ 200 °C 
  *工作温度 200 °C （惰性气体） 
He 泄漏率 <1 x 10-10 帕米3/秒 
流量 请查看性能数据。 
型号Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器 型号型号长度
WGMXMPRR4HT 127 毫米（5.00 英寸） 
WGMXMPRR4HTL 148 毫米（5.83 英寸） 

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）

备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN

光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE

电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）