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OTSUKA大塚膜厚仪FE-300UV；
小型/格/简单操作/非接触的膜厚仪！
反射率测量、多层膜厚解析/光学常数解析(n:折射率、k:消光系数)。
特点：
◆薄膜到厚膜的量测范围。
◆基于反射率光谱分析膜厚。
◆小型/，高精度。
◆无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。
◆外观新颖，操作性提高。
◆非线性小平方法，实现解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
型号
FE-300V
FE-300UV
FE-300NIR *1
对应膜厚
标准型
薄膜型
厚膜型
厚膜型（高分辨率
样品尺寸
大8寸晶圆(厚度5mm)
膜厚范围
100nm～ 40μm
10nm ～ 20μm
3μm～300μm
15μm～1.5mm
波长范围
450nm～780nm
300nm～800nm
900nm～1600nm
1470nm～1600nm
膜厚精度
±0.2nm以内*2
±0.2nm以内*2
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重复精度
0.1nm以内*3
0.1nm以内*3
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测量时间
0.1s ～ 10s 以内
光斑直径
约φ 3mm
光源
卤素灯
氙灯与卤素灯
卤素灯
卤素灯
通讯接口
USB
尺寸，重量
280(W)× 570(D)×350(H)mm，约24kg
软体功能
标准功能
波峰波谷解析、FFT解析、适化法解析、小二乘法解析
选配功能
材料分析软体、薄膜模型解析软件、标准片解析
