OTSUKA大塚膜厚仪FE-300V；
小型/格/简单操作/非接触的膜厚仪！
反射率测量、多层膜厚解析/光学常数解析(n:折射率、k:消光系数)。
特点：
◆薄膜到厚膜的量测范围。
◆基于反射率光谱分析膜厚。
◆小型/，高精度。
◆无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。
◆外观新颖，操作性提高。
◆非线性小平方法，实现解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
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型号
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FE-300V
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FE-300UV
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FE-300NIR *1
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对应膜厚
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标准型
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薄膜型
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厚膜型
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厚膜型（高分辨率
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样品尺寸
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大8寸晶圆(厚度5mm)
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膜厚范围
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100nm～ 40μm
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10nm ～ 20μm
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3μm～300μm
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15μm～1.5mm
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波长范围
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450nm～780nm
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300nm～800nm
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900nm～1600nm
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1470nm～1600nm
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膜厚精度
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±0.2nm以内*2
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±0.2nm以内*2
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重复精度
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0.1nm以内*3
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0.1nm以内*3
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测量时间
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0.1s ～ 10s 以内
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光斑直径
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约φ 3mm
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光源
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卤素灯
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氙灯与卤素灯
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卤素灯
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卤素灯
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通讯接口
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USB
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尺寸，重量
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280(W)× 570(D)×350(H)mm，约24kg
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软体功能
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标准功能
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波峰波谷解析、FFT解析、适化法解析、小二乘法解析
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选配功能
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材料分析软体、薄膜模型解析软件、标准片解析
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