OTSUKA大塚显微分光膜厚仪OP-A3；

非接触/非破坏/显微方式，测量时间 1秒！

测量目标膜的反射率，实现高精度膜厚和光学常数测试！（分光干涉法）

特点：

◆膜厚测量中必要的功能集中于头部。

◆通过显微分光高精度测量反射率 (多层膜厚、光学常数 )。

◆1点只需不到1秒的高速tact。

◆实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外—近红外）。

◆通过区域传感器控制的安全构造。

◆搭载可私人定制测量顺序的强大功能。

◆即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数。

◆各种私人定制对应（固定平台、有嵌入式测试头式样）。