OTSUKA大塚反射式膜厚测量仪 FE-3000
对应样品尺寸1000mm以上， 可对应加载治具。
主要测量透过率、反射率测量、膜厚测量。
量测范围：玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分析。
产品特点：
◆非接触式、不破坏样品的光干涉式膜厚计。
◆高精度、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱，分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
◆宽阔的波长量测范围。(190nm~1100nm)
◆薄膜到厚膜的膜厚量测范围。(1nm~250μm)
◆对应显微镜下的微距量测口径。
规格：
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标准型
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厚膜型
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膜厚量测范围
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1 nm ~ 40 μm
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0.8關m ~250關m
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波长量测范围
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190 ~ 1100 nm
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750 ~ 850 nm
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感光元件
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PDA 512ch(电子制冷)
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CCD 512ch(电子制冷)
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PDA 512ch(电子制冷)
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光源规格
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D 2(紫外光)、I 2(可见光)、D 2 +I 2(紫外-可见光)
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I 2(可见光)
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电源规格
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AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)
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尺寸
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481(H)×770(D)×714(W)mm(自动样品台规格之主体部分)
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重量
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约96kg(自动样品台规格之主体部分)
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应用范围：
■ FPD
・LCD、TFT、OLED(有机EL)。
■ 半导体、复合半导体
・矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料。
■ 资料储存
・DVD、磁头薄膜、磁性材料。
■ 光学材料
・滤光片、抗反射膜。
■ 平面显示器
・液晶显示器、薄膜电晶体、OLED。
■ 薄膜
・AR膜。
■ 其它
・建筑用材料。
