音微少液体流量计μLF-300S
IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微少領域の流量管理に
•1mL/minからの微少流量測定
•デジタル信号処理による微少流量高精度測定
•センサ部分が流体に非接触構造
•広いレンジアビリティー
参数：
μLF-300S(センサ分離型)
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型式
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μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch)
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測定原理
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音波伝播時間差方式
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被測定液体
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純水、各種薬液
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* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください
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適応流体温度範囲
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15℃～80℃
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* 60℃以上でご使用の場合は事前にご確認ください
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流体圧力
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0.5MPa 以下
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流体動粘度
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100mm^2/sec 以下
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流量範囲
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0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
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0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I)
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測定精度
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±0.5%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min 条件：室温, 定温の水)
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±1ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min)
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±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 条件：室温, 定温の水)
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±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min)
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繰返し性
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±0.2% (純粋, 液温±0.5℃, 30秒平均値)
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電源
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DC 24V ±10%
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消費電力
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3.6W以下
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重量
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変換器 240g, 検出部 70g
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サイズ W x H x D (mm)
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変換器 97 x 49 x 127
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検出部 90 x 25 x 20 (チューブ含まず)
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検出部
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チューブ素材
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PFA (フッ素樹脂)
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チューブ径
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1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm
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構造
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IP65相当
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付属ケーブル
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5m, コネクタ接続
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入出力部
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デジタル入出力
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4線式RS-422, 4線式RS-485
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アナログ出力
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4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下
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積算パルス出力
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1ch (オープンコレクタ)
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アラーム出力
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1ch (オープンコレクタ)
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接点入力
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1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア)
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キー入力
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4入力ボタン
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μLF-300(一体型)
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変換器
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型式
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μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch)
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測定原理
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音波伝播時間差方式
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測定液体
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水、水溶液、油類、各種薬液
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* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください
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適応流体温度範囲
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10℃～60℃
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* 60℃以上の場合は事前にご確認ください
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環境温度範囲
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温度：0℃～50℃(結露がないこと）
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流量範囲
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0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I)
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0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I)
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測定精度
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±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min, 室温, 水の場合)
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±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min)
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±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min, 室温, 水の場合)
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±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min)
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繰返し性
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±0.2% (液温±0.5℃, 30秒平均値)
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応答性
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10 msec
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構造
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屋内仕様 (IP65相当)
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電源
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DC 5V ±10%
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消費電力
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1.5W以下
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重量
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350g (本体部のみ)
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検出部
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チューブ素材
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PFA (フッ素樹脂)
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チューブ径
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1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm
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出力部
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シリアルポート
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4線式RS-422
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通信プロトコル
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データビット 8bit 固定, 偶数パリティ固定, ストップビット 1bit 固定
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ボーレート
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38400 baud
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シリアル出力データ内容
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瞬時流量値、積算流量値、エラーコード
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