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省エネルギー法改正に伴うエネルギー管理に
ISO14001における環境用流量管理に
半導体装置の純水・薬液の流量管理に
•配管切断が不必要なクランプオン式センサ
•広いレンジアビリティー
•低消費電力、コンパクト設計、圧力損失ゼロ
•防浸筐体により屋外設置可能(SLF-500)
参数:
変換器 | ||
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型式 | SLF-500 | |
測定方式 | 音波パルス伝播時間差演算方式 | |
演算方式 | μCPUによるデジタル演算方式 | |
測定精度 |
±2%RD(1m/s~10m/sの範囲) ±2cm(0m/s~1m/sの範囲) |
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測定流体 | 水、その他(音速値入力により対応) | |
測定流体温度 | 0~60℃ | |
適応配管 | 口径 | 15mm~300mm(外径20mm以上に対応) |
材質 | 塩ビ、SUS、その他(音速値入力) | |
ライニング | タールエボキシ、モルタル、その他(音速値入力) | |
アナログ出力レンジ | 流速換算で0~1m/sから0~10m/sの範囲で設定 | |
平均化時間 | 10秒標準(0秒~20秒の間1秒毎に可変) | |
構造 | 防浸形(IP65相当) | |
筐体材質 | ADC12 | |
塗装色 | マンセル5Y8/1.5 | |
設置温度範囲 | 0~+50℃ | |
設置湿度範囲 | 結露しないこと | |
電源 | AC85~264V 50/60Hz | |
消費電力 | 2.5VA以下 | |
取付方法 | 50mmパイプ取付(パネルマウント、壁取付も可) | |
アナログ出力 | 出力内容 | 瞬時流量(正流および逆流) |
出力信号 | DC4~20mA | |
負荷抵抗 | 450Ω以下 | |
出力時定数 | 0~20秒(1秒ステップ) | |
流量ローカット | 0~10%(1%ステップ) | |
接点出力 | 出力内容 | 正流積算パルス、逆流積算パルス、受波異常、上限流量、下限流量より任意で選択 |
出力信号 | オープンコレクタ無電圧接点 3点 | |
接点定格 | DC30V 0.25A | |
積算単位 | 0.1L、1L、10L、100L、1㎥、10㎥より選択 | |
積算パルス幅 | 1.6ms、50msecより選択 | |
積算ローカット | 0~10%(1%ステップ) | |
デジタル出力 | 出力内容 | 瞬時流量、積算流量、アラーム情報 |
通信方式 | RS-232C | |
LCD表示 | 16文字×2行(バックライト付) | |
表示内容 | 瞬時流量、積算流量 | |
パラメータ設定項目 | FS流量、流量単位、積算単位、その他 | |
検出器 | ||
型式 | SLT-20S | |
材質 | エボキシ樹脂、SUS304 | |
検出器形状 | クランプオン(管外壁取付)型 | |
取付方式 | VまたはZ取付 | |
設置温度範囲 | -20~+60℃ | |
接続ケーブル | 標準10m 1.5C-QEV(塩ビ配管の場合大30mまで延長可能) | |
重量 | 約400g | |
検出器設置条件 | センサー取付部から上流側に10D以上、下流部に5D以上の直管部を設けること(D:管内径) |