低压差质量流量控制器，*小工作压差为 800 Pa。

专有的环境温度补偿传感器、低压降规格和 ±1% F.S. 的精度降低了压降。

的压电陶瓷致动器阀，可在低压差下实现的流量控制和稳定性。

低差压质量流量控制器MC-3102S 系列

长处

选择

  • 微流量 F.S.

使用示例

低蒸气压、气体、低温流量控制

MC-3000S 是一种低差压质量流量控制器，由于其专有的低压降结构，只要二次侧处于真空状态，就可以在室温下控制 H2O 等液体原料的流量。 用于 ITO 溅射方法等，其中少量水蒸气被送入真空室。 此外，还可以在室温下控制低蒸气压固体原料（如 XeF2）的流速。

减压罐式容器 （SDS 容器） 的流量控制

在离子注入机中，使用 AsH3 和 PH3 等特殊材料气体，通常使用安全输送源 （SDS） 容器来安全稳定地供应它们。 SDS 的罐压低于大气压，需要具有低压差和流量控制的 MFC。 MC-3000S 具有的低压降结构，允许以 800 Pa （6 Torr） 的*小压差进行流量控制。

规格表

温度 *小压差 *压差 精度 控制范围 *低 F.S. 马克斯 FS 密封
5~50°C 800帕 133 千帕斯卡 ±1%F.S.
 2~*满量程
 2SCCM 30 单片机 金

* 规格表是具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过 options 进行更改。