用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。

用于半导体工艺的高性能质量流量控制器 EtherCAT 通信版本。 它符合 SEMI 标准，可以通过 EtherCAT 通信进行控制，该通信用于半导体制造设备运输系统中的高速传输。

它配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和 Lintec 独创的环境温度补偿流量传感器作为标准配置，并且可以作为选项添加，例如用于液化气。

北崎供应 lintec琳得科MC-5100C质量流量控制器EtherCAT 质量流量控制器         MC-5000C

长处

选择

  • 微流量 F.S.
  • 与液化气兼容
  • 宽

使用示例

EtherCAT 通信设备的统一通信

越来越多的半导体制造设备配备了 EtherCAT 通信（数字 I/F），用于对机器人手臂等运输系统进行高速控制。 EtherCAT 通信有 65,536 个节点，MFC 的所有测量和运动元件都可以通过 EtherCAT 通信统一。

规格表

温度 *小压差 *压差 精度 控制范围 *低 F.S. 马克斯 FS 密封
15~35°C 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*满量程 10单片机CM 300 升 金

* 规格表是具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过 options 进行更改。