用于 DeviceNet 通信的质量流量控制器。

配备*半导体制造设备的控制设备越来越多地在开放现场工作中进行通信，以实现高速控制和简化布线，而不是模拟控制。

Lintec 是业内*家
开发 MC-5000L 的公司，MC-5000L 是一款符合 SEMI 标准的用于 DeviceNet™ 通信的质量流量控制器。 它配备了半导体制造所需的金属密封件和的环境温度补偿流量传感器。 还提供各种选项，例如液化气支架。

北崎供应 lintec琳得科MC-5100L质量流量控制器DeviceNet 质量流量控制器         MC-5000L

长处

选择

使用示例

简化布线

在半导体设备中，对现场网络的控制正在增加。 于 DeviceNet 通信的 MFC （MC-5000L） 不需要 AD/DA 转换器或 IO 板，因此可以降低成本并减少布线。

规格表

温度 *小压差 *压差 精度 控制范围 *低 F.S. 马克斯 FS 密封
5~50°C 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*满量程
 5SCCM 200 升 金

* 规格表是具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过 options 进行更改。