质量流量控制器，交货期短，价格低，橡胶密封型。

一种低成本的质量流量控制器，非常适合惰性气体（如 Ar 和 N2）的流量控制以及空气的流量控制。 通过限制规格，我们可以应对较短的交货期。

流量范围也可以通过附加的可选可变范围功能来改变。 还可以添加 RS-485 数字通信。

MC-10RC 系列

长处

选择

  • 变量函数
  • RS-485 通信

使用示例

PVD 系列

在溅射等 PVD 沉积设备中，使用了 Ar，这是一种难以引起化学反应的稳定气体，通常称为惰性气体。 如果您需要使用 MFC 控制此类惰性气体（如 Ar）的流速，我们建议使用低成本的质量流量控制器 （MC-10RC），以降低成本。

惰性气体分析和实验室设备

对于不腐蚀密封剂树脂的气体流量控制，我们使用低成本的 MFC MC-10RC。 此外，可选的 VR 功能允许在线更改气体类型和流量范围。 该产品是简单实验和分析设备的理想选择。

规格表

温度 *小压差 *压差 精度 控制范围 *低 F.S. 马克斯 FS 密封
15~35°C 50kPa 300kPa ±1%F.S. 2~*满量程 10单片机CM 150SLM 氟橡胶

* 规格表是具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过 options 进行更改。