质量流量控制器，臭氧气体运行保修一年

臭氧气体质量流量控制器，使用 Lintec 独创的环境温度补偿传感器实现高热解臭氧气体的流量控制。

即使长时间控制臭氧气体的流量，臭氧气体浓度也不会改变。 （根据我们的研究）

北崎供应 lintec 琳得科OZ-1臭氧质量流量控制器

长处

  • 臭氧气体的流速可以控制。
  • 准确度±1% S.P.（校准气体）
  • 清洁（保证颗粒）
  • 环境温度补偿传感器
  • EtherCAT 通信、DeviceNet 通信

选择

  • 低压差
  • 宽

使用示例

臭氧发生器向多台臭氧 CVD 设备、清洗设备进行导流供应

由于臭氧具有很强的腐蚀性，并且 MFC 无法控制流速，因此臭氧发生器的数量 = 过去的臭氧气体需求点。 如果由臭氧气体质量流量控制器 OZ-1 控制流量，该控制器在流量测量过程中抑制热分解，则可以通过一台臭氧发生器向多个臭氧气体需求点供应臭氧气体。

规格表

温度 *小压差 *压差 精度 控制范围 *低 F.S. 马克斯 FS
5~50°C 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*满量程 10单片机CM 50SLM