一种高效汽化器,具有双流体喷嘴的高效汽化和大流量的大型汽化室。
使用液体喷嘴和载气喷嘴 (0.8~180SLM) 的双流体喷嘴进行高效汽化。 与 VU-430 相比,汽化室的体积更大,以改善对流时间和热交换面积。 实现高流量汽化。
由于它是阀式气化器,因此可以与 LM-3000L 组合使用,以控制气化器附近的液体流速。 可实现高响应性的汽化流量控制。

长处
使用示例
高流量汽化
通过扩大汽化室,从中央双流体喷嘴喷出的雾气比 VU-430 更扩散。 TEOS 可以稳定蒸发 20 g/min 和 H2O 5 g/min 的大流速。
规格表
*温度 | 载气流速 | * H2O 汽化流速 | * TEOS 汽化流速 | 密封 |
200°C | 0.8~130SLM | 5 克/分钟 | 20 克/分钟 | 金 |