高效蒸发器 [VU-440]

这是使用高效双流体喷嘴蒸发器结构的*型号，扩大了蒸发室，并改进了蒸发出口以抑制未蒸发的排放。

汽化室的体积比 VU-450 大，以改善对流时间和热交换面积。 实现高流量汽化。

通过增加到气体出口的距离，可以抑制油雾（未蒸发）的排放。

非常适合用于低 k、高 k 和各种金属，用于低蒸汽压、高流量汽化和高流速。

由于它是阀式气化器，因此可以与 LM-3000L 组合使用，以控制气化器附近的液体流速。 可实现高响应性的汽化流量控制。

高效蒸发器 VU-440

长处

• 高效汽化
• 可维护性
• 阀门接近度
• 出口加热距离增加

使用示例

半导体材料的汽化供应CVD、ALD

通过扩大汽化室，从中央双流体喷嘴喷出的雾气比 VU-450 扩散得更多。 通过增加加热器 W，TEOS 可以稳定蒸发 30 g/min 和 H2O 5 g/min 的大流速。

规格表