*工作温度为 300°C 的高温高效蒸发器。
具有液体喷嘴和载气喷嘴双流体喷嘴 （0.8~180SLM） 的高效汽化器。
金属密封和耐热结构可在* 300°C 的温度下进行汽化。
配备多个液体控制阀，除原料液体外，还可同时控制稀释液、清洗液等多种液体的流量，实现汽化。
高温高效蒸发器 VU-550
长处
选择
使用示例
高沸点液体的汽化
双流体喷嘴和*加热温度为 300°C 的耐热结构使其非常适合蒸发高沸点的低蒸汽液体材料，例如 Low-K、High-k 和各种金属。
通过在汽化室附近安装多个液体控制阀作为选项，可以交替或同时蒸发原料液体、稀释液体、溶剂等。
规格表
| *温度 | 载气流速 | * H2O 汽化量 | * TEOS 汽化 | 密封 |
| 300°C | 0.8~130SLM | 5 克/分钟 | 20 克/分钟 | 金 |
