紧凑型燃气加热，*加热温度为 200°C。
长处
- 设计紧凑，表面宽度为 160 mm × 55 mm
- 将 N2 气体 10SLM 加热至 200°C
- 可以加热不会腐蚀气体填充材料 （SUS316L） 的气体。
- 也可用于真空和加压
HX-0020 系列
使用示例
ALD 和 CVD 器件的热吹扫
液化气体通常用于 ALD 和 CVD 等真空沉积，但使用室温气体吹扫会冷却温度并冷凝，相反，吹扫可能不充分。 这就是热吹扫的用武之地。 紧凑型气体加热器 （HX-0020） 的占地面积与 MFC 相差不大，可加热至 200°C，因此可以在接近使用点的地方加热气体，非常适合 ALD 和 CVD 等热吹扫真空沉积设备。
规格表
| 流速（N2 当量） | 压降 （N2） | 耐压 （G） | 工作温度 | 气体接触材料 | |
| 规范 | 10SLM | 14kPa | 1MPa | 200°C | SUS316L |
