一种小型换热器，能够将 50SLM N2 加热至 200°C。
长处
HX-0050A 系列
- 设计紧凑，表面间距为 158 mm×宽 80 mm×高 80 mm
- 流量高达 50 SLM
- *工作温度：200°C
- 可以加热不会腐蚀气体填充材料 （SUS316L） 的气体。
- 也可用于真空和加压
使用示例
引入减排设备前的稀释 N2 加热
防止蚀刻设备中的排气管堵塞
当反应气体粘附在管道上并在被送至排阻装置之前被堵塞时，半导体制造设备和 FPD 制造设备的排气管会带来问题。 因此，通常用热的 N 2 稀释它，但仅通过从管道外部用带式加热器加热它是不可能的。 紧凑型热交换器 （HX-0050A） 可充分加热流体，以*限度地减少堵塞。
规格表
| 流速（N2 当量） | 压降 （N2） | 耐压 （G） | 工作温度 | 气体接触材料 | |
| 规范 | 50SLM | 9.8 千帕斯卡 | 1MPa | 200°C | SUS316L |
