一种高温气体加热器，能够以紧凑的设计将 N2 等效于 250SLM 加热到* 300°C。
长处
- 高度为 240 mm×宽度为 101 mm×宽度为 75 mm 的紧凑设计
- 流量高达 250 SLM
- *工作温度：300°C
- 两个单元可并联在 300°C 和 500 SLM 下使用
- 设定温度与出口气体温度差异小的设计
高温燃气加热器[HX-0301L]
使用示例
晶圆翘曲校正
晶圆可能会因分层沉积而翘曲。 其中一种对策是用高温和高流量的热空气校正翘曲。 高温燃气加热器 （HX-0301） 可通过两台并联产生 300°C 和 500SLM 的高温大流量，非常适合矫正翘曲。
规格表
| 流速（N2 当量） | 压降 （N2） | 耐压 （G） | 工作温度 | 气体接触材料 | |
| 规范 | 250SLM | 94 kPa | 1MPa | 300°C | SUS316L |
