集成了 0.1 μm 过滤器和加热器的高温过滤器。

它设计用于半导体制造过程中的液化气，并且所有气体接触材料都是SUS316L。 Lintec 的低压降结构。

长处

  • 过滤精度为 0.1 μm
  • *200°C
  • 全金属洁净结构
北崎供应 lintec 琳得科VF-0201N高温过滤器VF-0201N 系列

使用示例

该加热过滤器安装在汽化系统后面，用于去除可能导致产品缺陷的垂直和雾气。