北崎供应Fluoro福乐BC-K3晶圆非接触式转移伯努利卡盘
北崎供应Fluoro福乐BC-K3晶圆非接触式转移伯努利卡盘
主体可以从手柄的 20 度、45 度和 90 度三个使用角度中进行选择,用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
(使用角度为固定角度,不更换主机就无法改变使用角度。
导向挡块具有柔和的锥度,以便晶圆边缘与点接触。
由防静电聚碳酸酯制成的导向环可以进行目视定位,并且可以检查吸入状态。
由于主体使用导电尼龙树脂,减轻了重量。
两面都有图案印刷,可以处理难以处理的薄至 50 μm 的晶圆。
我们还支持定制产品,例如与对象匹配的方形。
由于伯努利卡盘是在高压下使用的,因此出于安全原因,建议以与*相同的方式将按钮朝下使用。
自适应晶圆尺寸
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代号
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气压 (MPa)
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重量 (g)
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2 英寸
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BC-K2 型
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0.1
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50
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3 英寸
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BC-K3 系列
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0.1
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70
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4 英寸
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BC-K4 型
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0.15
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80
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5 英寸
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BC-K5 系列
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0.15
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100
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6 英寸
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BC-K6 型
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0.15
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120
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8 英寸
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BC-K8 系列
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0.2
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170
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