北崎供应KASHIYAMA柏山SDH3000干式真空泵
北崎供应KASHIYAMA柏山SDH3000干式真空泵
SD 系列的特点
过程耐性的继承与进化
，进一步的实现低电力化
世界上*小的足迹
SEMI/CE/NRTL对应各规格
新的新建外观设计传承工艺公差，追求进化坚固(过程耐性)
除了独创形状的螺杆外，新的加热器系统进一步强化了工艺耐性，特殊材料的高耐腐蚀性和丰富的温度变化，实现了广泛的工艺响应
小型(小型化)
安全性(安全性)
|
型号*1
|
SDX600型
|
SDT600 系列
|
SDX1200
|
SDT1200
|
SDX1800
|
SDT1800
|
SDH3000*5
|
SDH6000*5
|
*抽速
[L/min]*2 *6
|
10,000
|
18,000
|
19,000
|
30,000
|
50,000
|
100,000
|
极限压力
[Pa] *2
|
0.5
|
0.3
|
0.5
|
|
电源电压 （50/60Hz）
|
三相 AC200~220V*7
|
|
N2流速 [SLM]
|
0~80
|
0~120
|
|
冷却水流量 [L/min]
|
3.0
|
4.0
|
3.0
|
4.0
|
3.0
|
4.0
|
4.0
|
4.0
|
|
功耗[kW]*3
|
1.5
|
3.0
|
1.65
|
3.15
|
2.1
|
3.3
|
3.3
|
3.7
|
|
外形尺寸 [mm]*4
|
L
|
695
|
695
|
850
|
910
|
1050
|
|
W
|
285
|
285
|
380
|
420
|
515
|
|
H
|
850
|
850
|
950
|
900
|
950
|
*1） SDX 节能和 Hirsch 工艺兼容机器、SDT 和 SDH 耐加工和 Super Hirsch 兼容机器
*2） 不使用加热器和 N2 吹扫时的值
*3） 达到运行时的大约功耗。
*4） 包装尺寸。 有关详细尺寸，请索取外部图纸。
*5） 我们拥有具有*耐加工性的产品系列，因此请联系我们的销售人员。
*6） *抽速为近似值。
*7） 对于本电源以外的要求，请单独与我们联系。 * 请联系我们了解兼容的气体类型。
