原装进口KASHIYAMA柏山MUH3000干式真空泵-北崎国际贸易（北京）有限公司

产品名称：原装进口KASHIYAMA柏山MUH3000干式真空泵

产品型号：MUH3000

生产厂商：KASHIYAMA柏山

产品数量：10

产品单价：6759.00RMB

产品介绍

原装进口KASHIYAMA柏山MUH3000干式真空泵

详细资料

原装进口KASHIYAMA柏山MUH3000干式真空泵

钼系列的特点
进一步的实现低电力化
新的外观设计
新建过程耐性的继承与进化
SEMI/CE/NRTL对应各规格
世界*小级别的足迹
提高工艺公差和节能
强/省(过程对性和节能)
工艺耐性和节能性能进一步进化在蚀刻等中等工艺中，实现世界N0.1的低功耗
小型(小型化)
20000L/min クラスで当社比 З2% のフットプリントを削減
安全性(安全性)
符合SEMI/CE/NRTL各标准的高可靠性设计(MUH不适用于NRTL)

型号*1		MUP600E	MUP1200E	MUP1800E	MUH3000
抽速 [L/min]2 *6		10,000	19,000	30,000	50,000
极限压力 [Pa] *2		0.5
电源电压（50/60Hz）		三相 AC200~220V*5
N2流速 [SLM]		0~45			0~60
冷却水流量 [L/min]		2
功耗[kW]*3		0.8	0.95	1.1	1.6
外形尺寸 [mm]*4	L	695		850	910
	W	285		380	420
	H	850		950	900

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*1）值为不使用加热器且未使用 N2 吹扫时的值。

*2）这是达到运行时的功耗的近似值。

*3）包装尺寸。有关详细尺寸，请索取外部图纸。
*4） *抽速为近似值。

*5）对于本电源以外的要求，请单独与我们联系。

原装进口KASHIYAMA柏山MUP600E干式真空泵

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