原装进口KASHIYAMA柏山MU300HE干式真空泵
原装进口KASHIYAMA柏山MU300HE干式真空泵
1.节能性能进一步进化!!
2.从轻负载到蚀刻都能广泛使用
3.搭载HOT-Ne清洗的MU-HE系列
主型号
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规格/型号
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MU100PE/HE
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MU300PE/HE
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MU600PE/HE
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*抽速
[L/min] *2
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1,660
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5,000
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10,000
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极限压力
[Pa] *2
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3.0
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0.5
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电源电压
（50/60Hz）
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三相 AC200~220V *3
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功耗
[kW] *4
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0.6
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0.8
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0.85
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外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *5
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630×350×360 元
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630×350×520 元
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重量 [kg]
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70
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110
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130
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*1. 请提前与我们联系以获取使用目的。
*2. 无加热器规格 N2这是不使用清除时的值。
*3. 对于此电源以外的要求，请单独与我们联系。
*4. 这是达到作期间功耗的近似值。 热 N2支持时，它将为 +0.2kW。
*5. 这将是包装尺寸。 有关详细尺寸，请索取外部图纸。
*6） *抽速为近似值。
*也可提供大排量泵，因此请联系我们。
