北崎供应ULVAC爱发科MS螺杆型干泵
北崎供应ULVAC爱发科MS螺杆型干泵
MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
用途
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
规格
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型式
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MS120A 系列
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MS600A 系列
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MS1200A
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*排气速度 *1
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m3/小时
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115
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560
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980
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到达压力
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帕
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≦0.6
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≦0.1
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电源电压
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200V 等级：3相， 50/60Hz， AC200-240V±10% 或 400V 等级：3相， 50/60Hz， AC380-480V±10%
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消费电力概略值 *2
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千瓦
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2.4
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3.1
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3.1
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冷却水量
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升/分钟
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>4.0
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吹扫气体量 *1
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SLM 系列
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0~50
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*水蒸气处理量 *1*3
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公斤/小时
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1.5
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噪音值 *1
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分贝（A）
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61
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62
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64
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吸气口
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KF50（卧式） / VG50（立式）
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ISO-F-80
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ISO-F-100
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排气口
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肯氟烃40
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质量 *4
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病历
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139
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241
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264
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适用规格
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CE、cTUVus
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标准附属品
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快速手册， 电源连接器， 防水电缆夹， 遥控连接器， 电源连接器防护罩， 消音器
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本体选配件
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电源：200V 级或 400V 级
密封材料：FKM 或 FFKM
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外部选配件
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Packege 排气口、抗震支架、LR 兼容单元（入口、远程）、吹扫气体阀
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*1:到达压力时
*2:在*终压力下(仅作为参考)
*3:吹扫气体使用时的*水蒸气处理量
*4:包括消音器
