北崎供应ULVAC爱发科HR1200多级罗茨型干泵
北崎供应ULVAC爱发科HR1200多级罗茨型干泵
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
特点
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
*的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
规格
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型号
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HR60
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HR90
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HR300
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HR600
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HR1200
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使用泵
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干式真空泵
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HR60
|
HR90
|
HR60
|
HR90
|
HR90
|
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机械增压泵
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-
|
-
|
PRC-003A
|
PRC-006A
|
PRC-012A
|
*
排气速度
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50Hz
|
m3/h
(L/min)
|
62(1030)
|
112(1860)
|
359(5,980)
|
653(10,900)
|
1,012(16,900)
|
|
60Hz
|
m3/h
(L/min)
|
80(1333)
|
126(2100)
|
365(6,080)
|
701(11,700)
|
1,051(17,500)
|
|
到达压力
|
Pa
|
5
|
0.67
|
*排气压力
（吸入圧力）
|
|
大气压 *1
|
*排气压力
（吸入圧力）
|
Pa
|
1~ 大气压
|
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吸气口 (CE规格)
|
VG50(KF50)
|
VG80(KF50)
|
VG80(KF80)
|
VG100(KF100)
|
|
排气口
|
KF40
|
|
质量
|
kg
|
| | | 0
|
420
|
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电源
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三相
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VAC
(Hz)
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200(50/60), 220(60)
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电流值
|
稳定时
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A
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7.1
(at 200V)
|
11.2
(at 200V)
|
7.8
(at 200V)
|
12.9
(at 200V)
|
15.4
(at 200V)
|
|
*值
|
A
|
7.3
(at 200V)
|
11.8
(at 200V)
|
8.1
(at 200V)
|
13.8
(at 200V)
|
18.9
(at 200V)
|
|
冷却水一次圧力
|
MPa
|
0.1~0.3
|
|
冷却水出入口压差
|
MPa
|
>0.1
|
|
冷却水流量
|
L/min
|
>5.0
|
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吹扫气
|
一次压力
|
MPa
|
0.1~0.5
|
|
二次压力
|
MPa
|
0.05~0.1
|
|
N2吹扫
|
轴
|
SLM
|
5
|
|
气镇
|
SLM
|
0~45
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*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。
