北崎供应IWAKI易威奇 PDS-105R 光刻胶点胶泵

北崎供应IWAKI易威奇 PDS-105R 光刻胶点胶泵

光刻胶点胶泵 PDS-105R
*出料量：5.0mL/次光刻胶
放电精度降低 ±0.3% （F.S.）
PDS-105R 的特点
显著节省光刻胶
由于使用高扭矩步进电机作为驱动源，即使由于过滤器堵塞或粘度变化导致排放负荷增加，吐出量也几乎没有减少，并保持了高吐出量精度。 因此，需要将涂布量设置为必要的*小限度，并且可以大大减少光刻胶液的使用量。
• 排液准确度：±0.3% （F.S.）
• 线性度：±0.5% （F.S.）
• 分辨率：0.01 mL
无污染
泵段采用管式火焰结构，内表面光滑，死体积小。 几乎没有光刻胶液体的保留，这可以防止颗粒的产生。
与各种涂层工艺兼容
由于可以在一次喷射中任意改变放电速率，因此可用于各种光刻胶涂层工艺，例如少量和短期涂层。
减少停机时间
内置压力传感器（可选）监测排放压力以控制何时更换过滤器。 此外，放电量和放电时间只能通过向控制器输入数字来设定。 它消除了作员的工作量，减少了停机时间。
原理图规格