荏原 （EBARA） 的高温技术支持高负荷工艺，在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能，可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料，还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容，可以处理各种高负荷工艺。