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产品名称：原装供应EBARA 荏原 EST800WN 干式真空泵
产品型号：EST800WN
生产厂商：EBARA 荏原
产品数量：10
产品单价：6523.00RMB
产品介绍

原装供应EBARA 荏原 EST800WN 干式真空泵

原装供应EBARA 荏原 EST800WN 干式真空泵

详细资料

原装供应EBARA 荏原 EST800WN 干式真空泵

原装供应EBARA 荏原 EST800WN 干式真空泵

EST 型

干式真空泵能够处理反应副产物并排出大流量气体

兼容高温控制
抽速大
大流量排气
采用耐腐蚀材料标准
耐腐蚀性增强选项
能够在重负荷下进行处理
在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz）
油
提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL

产品介绍

EST 型号使用螺杆式转子，并配备了高温功能，可将泵中的气体保持在高温，使其非常适合 CVD 等形成反应副产物的应用。 标准使用耐腐蚀材料，实现高抽速和高流量泵送，减少停机时间并有助于提高工艺效率。

规范


型 单位 EST10N 系列 EST25N 系列 EST100WN EST200WN EST300WN EST500WN EST800WN
抽速 升/分钟 1,000 2,500 10,000 20,000 30,000 50,000 80,000
极限压力 帕 2.7 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 0.5
连接直径 进气口 西北 40 西北 40 西北 50 西北 100 西北 100 ISO160 ISO200
排气口 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40
极限压力下的近似功率 千瓦 2.3 3 3.2 3.2 4.5 4.6 4.6
冷却水 流量 升/分钟 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8
温度 °C *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个
注 2 流量 帕•m3/秒 9 24~29 28~31 28~31 28~31
电源相位/电压/频率 200V 型号 三相/200-220V，50/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号 三相/380-440V，50/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		-
电源容量 千伏安 4.6 7.3 8.2 8.5 12.7 15.1 16
近似质量 公斤 260 300 380 430 500 550


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