北崎供应IWAKI易威奇 FLP-75W 空气驱动型低脉动波纹管泵
北崎供应IWAKI易威奇 FLP-75W 空气驱动型低脉动波纹管泵
空气驱动型低脉动波纹管泵 FLP 系列
*吐速：92L/min无需阻尼器即可实现低脉动，有助于降低总成本，并且
运行稳定，负载跟踪*，适用于单晶圆工艺
FLP 系列的特点
低脉动
该系统的驱动机构控制波纹管在*阶段的运动，以抵消泵的脉动，从而在运行时脉动非常小。
减少空气消耗
与传统类型相比，空气消耗量*多可减少 30%（与我们以前的型号相比）。 即使降低供气压力，也可以获得与传统类型相同的性能。
*的负载跟踪
相位控制提高了负载波动期间的跟踪性能。 特别是在压力波动频繁的生产线中，例如在单晶圆工艺中，由于其高负载跟踪能力，实现了吐出量和吐出压力的稳定运行。
无需阻尼器，节省空间
由于无需安装阻尼器，因此可以节省空间。 此外，配管作业也很简单，可以减少含氟聚合物接头等昂贵的配管材料，有助于设备的小型化和轻量化。
FLP-60W 外形规格
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*吐出量
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50L/min（供气压力 0.2MPa、清水 25°C）
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工作液温度
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5〜100°C
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101〜150°C
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151〜180°C
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*供气压力
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0.5MPa
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0.4MPa
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0.3MPa
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*空气消耗量
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464NL/分钟
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*笔画数
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160 平方米
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主要材料
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聚四氟乙烯、PFA
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*传输液体粘度
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50 毫帕斯卡
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连接管直径
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⌀25 毫米×⌀22 毫米（PFA 管）
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MacSystemFont, "font-size:14px;">
注：*吐出量取决于 0.2 MPa 的供气压力和 25°C 的清水温度。
FLP-75W 规格
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*吐出量
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92L/min（供气压力 0.3MPa、清水 25°C）
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工作液温度
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5〜100°C
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101〜150°C
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151〜180°C
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*供气压力
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0.5MPa
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0.4MPa
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0.3MPa
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*空气消耗量
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647NL/分钟
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*笔画数
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150 平方米
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主要材料
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聚四氟乙烯、PFA
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*传输液体粘度
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50 毫帕斯卡
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吸入侧
连接管直径
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⌀31.8mm×⌀28.0mm（PFA）
Super 300 型 1-1/4“ 带套筒的活接螺母
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出料侧
：连接管直径
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⌀25.4mm×⌀22.2mm（PFA）
Super 300 Type 1“ 带套筒的活接螺母
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MacSystemFont, "font-size:14px;">
注：*吐出量取决于 0.3 MPa 的供气压力和 25°C 的清水温度。
泵控制器 LPC-1
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电源电压
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DC24V −5%〜+10%
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*电流消耗
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0.11 安培
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警报类型
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如果泵或外围设备发生异常，则将异常输出到设备侧。
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泄漏警报 （Leak Alarm）
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时警报（故障警报）
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*次警报（异常行程警报）
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电动气动调节器报警（电动气动调节器异常报警）
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其他功能
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除了正常作（低脉动运行）外，还可以进行恒定流量控制。 此外，即使在恒定流量控制期间也能保持低脉动。
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