原装进口IWAKI易威奇 FS-100HT2 气动波纹管泵

原装进口IWAKI易威奇 FS-100HT2 气动波纹管泵

气动波纹管泵 FS-100HT2
*放电速率：100L/min兼容需要高温输送的化学品，如 CARO （SPM） 和H3PO4* 180°C
，*流量 100 L/min
FS-100HT2 的特点
高温、高流量输送
*可输送 180°C，*流量为 100 L/min。 对于需要高温输送的化学液体，如 CARO （SPM） 和H3PO4，与我们的传统产品相比，预计循环流速（55 L/min→100 L/min）将提高约 1.8 倍。
提高清洁效率
改进的循环流速提高了去除晶圆表面颗粒、金属污染物和有机污染物的效率，并减少了由于电路图案的小型化而增加的清洁时间。
无污染
所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外圆周也涂有含氟聚合物，以确保没有金属暴露。 可以转移半导体应用中使用的化学品，例如酸、碱和级水。
通过减轻重量减轻工人的负担
通过优化部件的形状，与传统产品（80 至 100 L/min 级）的重量相比，我们的重量减轻了约 15%。 它可以减轻工人在安装和更换泵时的负担。
接近开关方法
传感器驱动系统用于切换电磁阀，泵中内置了接近开关。 它还标配了一个泄漏传感器。
易于使用
通过连接控制器，可以轻松控制和管理吐出量。
原理图规格

MacSystemFont, "font-size:14px;"> • *放电速率基于 20°C 清水。