北崎供应IWAKI易威奇 FA-2 气动波纹管泵
北崎供应IWAKI易威奇 FA-2 气动波纹管泵
气动波纹管泵 FA 系列
*放电速率：40L/min用于晶圆清洁的气动波纹管泵
FA 系列的特点
用于中温液体
标准化了水平型、低流量的 FA-2 型和大流量的立式 FA-40VEW 型。 FA-2 适用于喷雾式单晶圆加工，而 FA-40VEW 适用于清洗 200/300mm 晶圆。
长寿命设计
FA-40VEW 型号使用厚壁波纹管。 它具有*的耐压性和长寿命设计，可承受长时间连续运行。
接近开关方法
传感器驱动系统用于切换电磁阀，泵中内置了接近开关。 它还标配了一个泄漏传感器。
易于使用
通过连接控制器，可以轻松控制和管理吐出量。
原理图规格
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型
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FA-2 系列
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法 40
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*吐出量
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2升/分钟
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40升/分钟
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供气压力范围
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0.2〜0.4MPa
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0.1〜0.4MPa
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*空气消耗量
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50NL/分钟
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200 NL/分钟
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*笔画数
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150 平方米
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80 平方米
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主要材料
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聚四氟乙烯、PFA
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液体温度范围
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5〜100°C
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注意：*放电速率基于 20°C 清水。
