进口供应IWAKI易威奇 SB 空气驱动点胶机
进口供应IWAKI易威奇 SB 空气驱动点胶机
空气驱动点胶机 SB 系列
*出液量:100mL/行程非常适合半导体制造工艺中的光刻胶涂层
SB 系列的特点
高精度
我们高精度地测量和分配光刻胶和其他化学溶液。 为了优化光刻胶滴落量,提高了每次喷射的分配精度,并安装了回吸器(可选)以防止光刻胶从排放端脱落。
波纹管内部的死体积极小,其结构可防止液体停滞。 无密封结构和低速气缸的使用可实现光刻胶的低速注入并防止空气进入光刻胶。
轻巧紧凑的设计
泵可以垂直或水平方式安装(SB-4K/5/6 除外),并且可以选择*形状进行系统集成。 紧凑的设计还为外围设备腾出了空间。
此外,还提供带有机械挡块的气缸,该气缸可通过单个泵控制细微的吐出量,以及带有传感器的气缸,可以可靠地检查运行情况。
不锈钢和含氟聚合物
不锈钢 (SUS304) 和含氟聚合物 (PTFE, PFA) 类型可作为接液材料提供。 它具有*的耐腐蚀性,不会污染液体,并且对于高分辨率、高纯度光刻胶等液体质量控制是安全的。
原理图规格
*放电率
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100mL/冲程
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*排放压力范围
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0.05〜0.1MPa
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供气压力范围
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0.15〜0.5MPa
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*空气消耗量
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1.0NL/冲程
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主要材料
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SUS304/聚四氟乙烯、PFA
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液体温度范围
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15〜25°C
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