进口供应WAKI易威奇 CFD-8T-B 化学品加注泵
进口供应WAKI易威奇 CFD-8T-B 化学品加注泵
化学品加注泵 CFD
*移液速率：8 mL/次用于补充半导体工艺中的强酸和强碱
CFD 的特点
用于晶圆清洗液的浓度控制
准确注入所需的*小量化学溶液，精度极高。 它是控制晶圆清洗液浓度的理想选择。 它抑制了浓度调，有助于降低清洁溶液的成本。
优异的耐腐蚀性
所有接液部件均由含氟聚合物（PTFE、PFA、PCTFE）组成，并与强酸、强碱和过氧化氢溶液等化学溶液兼容。
泵的外部由树脂和涂层螺栓制成。
安全设计
由压缩空气提供动力的安全气动波纹管泵。
防虹吸机构可防止化学液体流出。
CFD-1T-B 标配一个泄漏传感器，用于检测波纹管破损。
吞吐量范围广
灵活的设置涵盖广泛的放电速率。
在工厂，CFD-1T-B：1 mL/次，CFD-8T-B：8 mL/次。
原理图规格
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型
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CFD-1T-B 系列
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CFD-8T-B 系列
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*放电率
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1mL/次*1
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8mL/次*2
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供气压力
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0.15~0.3MPa
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*空气消耗量
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2.5NL/分钟
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5.4NL/分钟
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*笔画数
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30 平方米
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主要材料
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聚四氟乙烯、PFA、PCTFE
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液体温度范围
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20〜60°C
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MacSystemFont, "font-size:14px;">
注 1：这是出厂设置。 排液速率可在 0.4 至 2.7 mL/次之间变化。
注 2：这是出厂设置。 排液速率可在 7 至 10 mL/次的范围内变化。
