进口供应Lintec 琳得科 MC-3102L-TC 耐高温质量流量控制器

进口供应Lintec 琳得科 MC-3102L-TC 耐高温质量流量控制器

耐高温质量流量控制器MC-3000L-TC
气体流量控制的*使用温度120℃、非通电状态下使用温度可高达150℃的耐高温质量流量控制器。
通过将高温气体接触部分与不耐热的基板部分分离，可以实现高温环境下的气体控制。
接气体加热模块采用不锈钢材料SUS-316L，密封材料采用Au，可对应腐蚀性气体。
在标准配置基础上，还可选配防止液化气体再次液化的低压差规格，以及接触气体部分加热模块。
特点
使用温度Max120℃
金属密封件
无尘生产（粒子标准监控）
RS-485数字通讯接口
选配规格
液化气体
加热模块
使用范例
液化气体、升华气体流量控制
CVD（化学气相沉积法）和 ALD （原子层沉积法）中所使用的气源不仅限于常温常压下的气体，也可能是常温常压下的液体或固体原料。液体和固体在常温条件下产生的气体较少，很难利用压差原理来控制流量。因此，MFC的工作压力是通过加热原料罐并增加蒸汽压力以产生压差来确保的。MC-3000L-TC能够进行高温控制和低压差工作，是液化和挥发性气体流量控制的理想选择。
简 介
MC-3000L-TC 系列是可适用*温度达120℃的质量流量控制器
特 点
可用于 120℃高温环境下操作
采用标准 RS-485 数字通讯接口
搭配林泰克独创的环境温度补偿式质流传感器内置微处理器提高处理效能
控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
采用高速度，高性能的压电控制阀
使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性