北崎供应Lintec 琳得科 MC-11RC 经济型质量流量控制器

北崎供应Lintec 琳得科 MC-11RC 经济型质量流量控制器

经济型质量流量控制器MC-10RC
采用橡胶密封的质量流量控制器，具有制作周期短、成本低的特点。
适用于Ar、N2等惰性气体及Air的流量控制。由于型号固定，所以制作周期较短。
选配VR（可变流量）功能可改变流量范围。支持RS-485数字通信接口。
特点
经济适用
选配规格
可变流量（VR）功能
RS-485通讯接口
使用范例
PVD
在PVD溅射镀膜设备中，通常使用Ar（氩），这是一种稳定的、耐化学反应的惰性气体。 如果您需要使用MFC控制Ar之类的惰性气体的流量，我们建议使用经济型质量流量控制器（MC-10RC）。
惰性气体分析、实验设备
如果流量控制的目标气体不会腐蚀密封材中的树脂部分，我们建议使用经济型质量流量控制器MC-10RC。此外，可选的VR功能可支持不同气体类型与流量范围。该产品是简单实验、分析设备的理想选择。

简 介MC-10采列主要对应短制作时间及低成本考虑需求的质量流量控制器
特 点
使用橡胶密封，着重低成本考虑流量精度于 ±1%ES.内适用 10SCCM~50SLM的宽广满量程流量范围可追加变更流量范围功能 VR :(基准流量 )÷(全流量)C.F.=VR 值，将不同 VR 值输入机台外部的 3 位数旋钮即可选择不同气体种类及满量程流量搭载 VR 机能，一台质量流量控制器，可适用各种不同气体以及满量程流量的变更，降低用户成本可追加 RS-485 通讯接口，*可同时连接 32 台质量
流量控制器搭配 LINTEC 独创的环境温度补偿式质流传感器采用高速度，高性能的电磁控制阀采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性