响应时间200毫秒的高速质量流量控制器。

采用热式传感器，实现100毫秒（典型值）的高速流量控制。凭借林特克独有的非接触式热式流量传感器与压电控制阀，可对腐蚀性气体进行高速流量控制。

流量精度高达±1.0％S.P.，高精度且数字通信方式可选择DeviceNet或EtherCAT。