EtherCAT质量流量控制器

用于EtherCAT通信的高性能质量流量控制器。

面向半导体工艺的高性能质量流量控制器，采用EtherCAT通信版本。符合SEMI标准，可通过EtherCAT通信进行控制，用于半导体制造设备的输送系统，以实现高速化。

标配了半导体制造工艺所需的金属密封以及林德克独有的环境温度补偿式流量传感器，还可根据需求选配液化气体兼容等附加功能。