DeviceNet质量流量控制器

支持DeviceNet通信的质量流量控制器。

*的半导体制造设备所搭载的控制装置，已不再采用模拟控制，而是为了实现高速控制并简化布线，越来越多地采用开放式现场总线通信。

林特克公司率先在业界
开发了符合SEMI标准的DeviceNet™ 通信型质量流量控制器MC-5000L。该产品配备了半导体制造所需的金属密封结构，以及独有的环境温度补偿式流量传感器，并可选配液化气体适用等多种功能。