与VU-450系列相比，该系列汽化器通过增加汽化室的体积（到Gas Outlet 的距离加长），改善了对流时间和热交换面积，可避免未气化完成的雾化液体進入反应腔，由此可实现更大流量的汽化。

*适合Low-K(低介电常数材料)、High-k(高介电常数材料)和各种低蒸气压的金属材料的大流量汽化供应。

该汽化器为阀门集成汽化器，若与LM-3000L结合使用，可直接控制即将进入汽化器的液体流量，从而提高气体流量控制的应答速度。